Монокристаллический кремень (WinWord)

---

запомнить в избранное   искать в этом разделе

---

ВНИМАНИЕ !!! Это сокращенная версия файла. Предназначена она только для того, чтобы вы могли предварительно ознакомиться с документом, перед тем как его скачать. Здесь нет картинок, не сохранен формат, шрифт, размеры и положение на странице.
Чтобы скачать полную версию, нажмите ссылки которые находятся чуть-чуть ниже (Info File Mail)

---

Info File Mail

Файл относится к разделу:
ХИМИЯ

---

Введение
Основной объем монокристаллического кремния (80-90%) потребляемого электронной промышленностью, выращиваеться по методу Чохральского.
Фактически весь кремний,используемый для производства интегральных схем,производиться этим методом.
Кристаллы выращенные этим методом обычно не содержат краевых дислокаций,но могут включать
небольшие дислокационные петли,образующиеся при
конденсации избыточных точечных дефектов.
Кристаллический рост заключаеться в фазовом переходе из жидкого состояния в твердую фазу.
Применительно к кремнию этот процесс может быть охарактеризован как однокомпонентная ростовая система жидкость-твердое тело.
Рост кристаллов по методу Чохральского заключаеться
в затвердевании атомов жидкой фазы на границе раздела
Скорость роста определяеться числом мест на поверхности растущего кристалла для присоединения
атомов,поступающих из жидкой фазы,и особенностями
теплопереноса на границе раздела фаз.Скорость вытягивания оказывает влияние на форму границы раздела фаз между растущим кристаллом и расплавом,
которая являеться функцией радиального градиента
температуры и условий охлаждения боковой поверхности растущего кристалла.
Оборудование для роста кристаллов.
Установка для выращивания кристаллов представлена на
рисунке 2,и включает в себя 4 основных узла:
1.Печь в которую входят тигель,контейнер,
механизм вращения,нагреватель,источник питания и камера.
2.Механизм вытягивания кристалла содержащий
стержень,или цепь с затравкой,механизм вращения
затравки и устройство для зажима затравки.
3.Устойство для управления составом атмосферы,
состоящее из газовых источников,расходомеров,
системы продувки и вакуумной системы.
4.Блок управления,в который входят микропроцессор,датчики и устройства вывода.
Тигель является наиболее важным элементом
ростовой системы.Так как тигель содержит расплав,его материал должен быть химически инертен по отношению к расплавленному кремнию.
Это основное требование при выборе материала
тигля,так как электрические свойства к

• подписаться на рассылку. • добавить в избранное. • нашли ошибки ?

Это место